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Mittwoch, 13. Dezember 2017

Forschung

Mit ultradünnen Materialien zu empfindlicheren Sensoren

Von Regine Bönsch | 10. August 2017 | Ausgabe 32

Sensoren sind aus vielen Bereichen der Wirtschaft und des Alltags nicht mehr wegzudenken. Sie detektieren Abgase in der Luft, Schadstoffe in Innenräumen, erfassen toxische und explosive Gase.

Heute kommerziell erhältliche Sensoren sind allerdings für viele Anwendungen vergleichsweise zu wenig sensitiv und haben eine große Querempfindlichkeit.

Der Schlüssel zu sensitiveren, spezifischeren und günstigeren Sensoren könnten neue, ultradünne und im Nanometerbereich strukturierte Materialien sein, wie sie u. a. ein Forschungskonsortium unter Leitung des Duisburger Fraunhofer-Instituts für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme erforscht: die Atomlagenabscheidung (Atom Layer Deposition, kurz ALD).

Mit dabei ist ein Team der Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf um Professor Klaus Schierbaum. Mit dem ALD-Verfahren könnten Materialschichten ultradünn – Atomlage für Atomlage – gezielt abgeschieden und strukturiert werden, heißt es. Heraus kommen Schichten mit Dicken von weniger als 50 nm. Mit der Technik sei es möglich, freitragende dreidimensionale Bauelemente auf elektronischen Bauelementen aufzubauen. „Solche freitragenden Nanodrähte aus Metalloxiden eignen sich hervorragend für ultrasensitive Gas- oder Bio-Sensoren“, verkündete Schierbaum Ende Juli.  rb

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